Нанотехнологии и микросистемная техника

В подготовка бакалавров по данному профилю по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в МАИ основное внимание уделяется разработке и производству микроэлектромеханических систем (МЭМС) различного назначения: 

• актюаторных и сенсорных элементов интеллектуальных систем и метаматериалов;
• систем безопасности;
• микроакселерометров;
• микрогироскопов;
• микротермодетекторов;
• микропереключателей и микрореле;
• микрофильтров;
• микрозеркал;
• лабораторий на кристалле реактивных микродвигателей и элементов микроробототехнических систем. 

• Конструирование, диагностика и исследованиям микро- и наноструктур и систем с определенными свойствами и функциями: электро-механических и опто-электро-механических преобразователей сенсорных и исполнительных элементов микро- и наносистемной техники, интеллектуальных материалов и конструкций, сухих адгезивов
• Моделирование свойств, прогнозирование жизненного цикла нанотехнологических материалов с помощью цифровых моделей 
• Разработка, применение и контроль технологических процессов микро- и нанообработки материалов органической и неорганической природы планарными и объёмными методами (формования, выращивания, травления, адгезионного соединения) и самоорганизации на уровне микро- и наномасштаба (химического и биохимического синтеза, атомно-молекулярной и фазовой самоорганизации), обеспечивающими требуемую точность изготовления микро- и наноструктур и устройств

• Способность к разработке составов и технологий получения полимерных наноструктур и наноматериалов и их использованию в производстве микро- и наносистемной техники 
• Готовность использовать методы наноимпринт литографии в производстве элементов микро- и наносистемной техники 
• Способность использовать физические основы и принципы работы основных типов микро- и наносистемной техники, способы оценки масштабных эффектов в них 
• Готовность учитывать закономерности физических, химических и физико-химических явлений в процессах производства компонентов микро- и наносистемной техники 
• Способность использовать методы микро-  и нанодиагностики для оценки долговечности микро- и наноэлектромеханических систем 
• Готовность применять методы вакуумного корпусирования в производстве микро-  и наносистемной техники различного функционального назначения

• Компьютерные технологии в моделировании, проектировании и конструировании объектов
• Материаловедение и технологии неметаллических материалов
• Технологические процессы производства микро- и наносистемной техники
• Технологическое оборудование для производства микро-и наносистемной техники
• Физические основы микро- и наносистемной техники
• Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнолоий
• Физические методы исследования материалов
• Фотохимия полимерных систем
• Микро- и нанодиагностика
• Основы конструирования микро- и наносистемной техники

• Универсальный цифровой видеомикроскоп HIROX KH-7700
• Акустический микроскоп-томограф Velox
• Рабочее место визуального контроля VS8/S/5 Lynx
• Система плазменной очистки CS-1701 РИТ
• Установка дисковой резки пластин MicroAce 66
• Полуавтоматическая система монтажа кристаллов PP5
• Линия герметизации корпусов на базе роликово-шовной сварки HPS9206 PIRAMID
• Микроскоп оптический AxioImage
• Вакуумная магнетронная система напыления АКТАН-ВМИУ-200
• Центрифуга настольная SM-180
• Ручная установка совмещения и экспонирования MA6/BA6
• Установка проявления полупроводниковых пластин Sawatec LRD-250
• Установка задубливания фоторезистивной маски Sawatec

1. Полиэлектролитные комплексы на основе природных полимеров
2. Структура, свойства и плазмохимическое травление алифатических полиамидов
3. Поляризаторы на основе пленок поливинилового спирта с наночастицами серебра
4. Ультрафиолетовая наноимпринт- литография в технологии микросистемной техники 
5. Электрическое сопротивление тонких плёнок нитрида кремния
6. Синтез, микро- и наноструктура биодеградируемых материалов на основе полимолочной кислоты и её сополимеров
7. Полимерные резисты для электронной литографии
8. Крезол-формальдегидные полимерные фоторезисты
9. Электропроводящие полипиррольные пленки  и покрытия для химически модифицированных электродов газовых сенсоров

• П.Г. Бабаевский, профессор, д.т.н.
• А.А. Жуков, профессор, д.т.н.
• Н.А. Козлов, профессор, д.т.н.
• Е.А. Гринькин, доц., к.т.н.
• Т.С. Дёмина, доц., к.х.н.
• Д.Ю. Обижаев, доц., к.т.н.
• А.В. Шапагин, доц., к.х.н.
• Г.М. Резниченко, доц., к.т.н.
• И.Г. Агапов, доц., к.т.н.

Выпускники программы успешно работают в:  

• производственных, проектно-конструкторских организациях (ФГУП «НИИГрафит», ФГУП ЦНИИХМ, НИЦ Нанотехнологий);
• в институтах Российской академии наук (Институте физической химии и электрохимии, Институте химической физики, Институте полимерных материалов).

• Инженеры-технологи
• Иженеры-исследователи