Нанотехнологии и микросистемная техника

Образовательная программа город Москва
Меганаправление
Материалы и современные технологии
28.03.01
Направление подготовки
Нанотехнологии и микросистемная техника
Образовательная программа
Нанотехнологии и микросистемная техника
Форма обучения
Очная
Срок обучения, лет
4
Основа обучения, количество мест
Бюджетная -
Платная -
Стоимость обучения на платной основе в 2019 году
241 480
Вступительные испытания
  • Математика
  • Физика
  • Русский язык
Выпускаяющая кафедра и институт
ТКМКМ
11
Партнёры
НИИграфит
ЦНИИХМ
Институт физической химии РАН
Институт химической физики РАН

Чему обучают

  • Конструирование, диагностика и исследованиям микро- и наноструктур и систем с определенными свойствами и функциями: электро-механических и опто-электро-механических преобразователей сенсорных и исполнительных элементов микро- и наносистемной техники, интеллектуальных материалов и конструкций, сухих адгезивов
  • Моделирование свойств, прогнозирование жизненного цикла нанотехнологических материалов с помощью цифровых моделей 
  • Разработка, применение и контроль технологических процессов микро- и нанообработки материалов органической и неорганической природы планарными и объемными методами (формования, выращивания, травления, адгезионного соединения) и самоорганизации на уровне микро- и наномасштаба (химического и биохимического синтеза, атомно-молекулярной и фазовой самоорганизации), обеспечивающими требуемую точность изготовления микро- и наноструктур и устройств

Особенность программы

В подготовка бакалавров по данному профилю по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в МАИ основное внимание уделяется разработке и производству микроэлектромеханических систем (МЭМС) различного назначения: актюаторных и сенсорных элементов интеллектуальных систем и метаматериалов, систем безопасности, микроакселерометров, микрогироскопов, микротермодетекторов, микропереключателей и микрореле, микрофильтров, микрозеркал, лабораторий на кристалле реактивных микродвигателей и элементов микроробототехнических систем. Специфика МЭМС состоит в том, что технология  их производства базируется на сочетании практически всех существующих материалов и процессов поверхностных, объемных и комбинированных микрообработок. Данное направление и профиль подготовки полностью соответствует специфической особенности  МАИ как ведущего технологического вуза по материаловедению и технологиям обработки новых материалов для производства современной техники. Выпускники МАИ по этому направлению, имея фундаментальную теоретическую и техническую подготовку по материаловедению и передовым технологиям, находят работу в научно-исследовательской и  производственно-технической областях микросистемной техники и робототехники, нано-технологий и технологий  интеллектуальных материалов и покрытий примени-тельно к авиационной и ракетно-космической технике.

Основные дисциплины

  • Компьютерные технологии в моделировании, проектировании и конструировании объектов
  • Материаловедение и технологии неметаллических материалов
  • Технологические процессы производства микро- и наносистемной техники
  • Технологическое оборудование для производства микро-и наносистемной техники
  • Физические основы микро- и наносистемной техники
  • Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнолоий
  • Физические методы исследования материалов
  • Фотохимия полимерных систем
  • Микро- и нанодиагностика
  • Основы конструирования микро- и наносистемной техники

Оснащение учебного процесса

  • Универсальный цифровой видеомикроскоп HIROX KH-7700
  • Акустический микроскоп-томограф Velox
  • Рабочее место визуального контроля VS8/S/5 Lynx
  • Система плазменной очистки CS-1701 РИТ
  • Установка дисковой резки пластин MicroAce 66
  • Полуавтоматическая система монтажа кристаллов PP5
  • Линия герметизации корпусов на базе роликово-шовной сварки HPS9206 PIRAMID
  • Микроскоп оптический AxioImage
  • Вакуумная магнетронная система напыления       АКТАН-ВМИУ-200
  • Центрифуга настольная SM-180
  • Ручная установка совмещения и экспонирования  MA6/BA6
  • Установка проявления полупроводниковых пластин Sawatec LRD-250
  • Установка задубливания фоторезистивной маски Sawatec

Темы выпускных работ

  1. Полиэлектролитные комплексы на основе природных полимеров
  2. Структура, свойства и плазмохимическое травление алифатических полиамидов
  3. Поляризаторы на основе пленок поливинилового спирта с наночастицами серебра
  4. Ультрафиолетовая наноимпринт- литография в технологии микросистемной техники 
  5. Электрическое сопротивление тонких пленок нитрида кремния
  6. Синтез, микро- и наноструктура биодеградируемых материалов на основе полимолочной кислоты и её сополимеров
  7. Полимерные резисты для электронной литографии
  8. Крезол-формальдегидные полимерные фоторезисты
  9. Электропроводящие полипиррольные пленки  и покрытия для химически модифицированных электродов газовых сенсоров

Кто обучает студентов

  • П.Г. Бабаевский, профессор, д.т.н.;
  • А.А. Жуков, профессор, д.т.н.;
  • Н.А. Козлов, профессор, д.т.н.;
  • Е.А. Гринькин, доц., к.т.н.;
  • Т.С. Дёмина, доц., к.х.н.; 
  • Д.Ю.. Обижаев, доц., к.т.н.;
  • А.В. Шапагин, доц., к.х.н.;
  • Г.М. Резниченко, доц., к.т.н.;
  • И.Г. Агапов, доц., к.т.н.

Получаемые профессиональные навыки

  • Способность к разработке составов и технологий получения полимерных наноструктур и наноматериалов и их использованию в производстве микро- и наносистемной техники 
  • Готовность использовать методы наноимпринт литографии в производстве элементов микро- и наносистемной техники 
  • Способность использовать физические основы и принципы работы основных типов микро- и наносистемной техники, способы оценки масштабных эффектов в них 
  • Готовность учитывать закономерности физических, химических и физико-химических явлений в процессах производства компонентов микро- и наносистемной техники 
  • Способность использовать методы микро-  и нанодиагностики для оценки долговечности микро- и наноэлектромеханических систем 
  • Готовность применять методы вакуумного корпусирования в производстве микро-  и наносистемной техники различного функционального назначения

Где работают выпускники

Выпускники программы успешно работают в производственных, проектно-конструкторских организациях (ФГУП «НИИГрафит», ФГУП ЦНИИХМ, НИЦ Нанотехнологий), в институтах Российской академии наук (Институте физической химии и электрохимии, Институте химической физики, Институте полимерных материалов).

Кем работают выпускники

  • Инженеры-технологи
  • Иженеры-исследователи

Контактное лицо